VDP系列变螺距螺杆真空泵
VDP系列变螺距螺杆真空泵采用先进的三段式变螺距转子型线,高效节能、运行可靠,极限真空可达1.33Pa,可在大气压到极限压力间的任何压力下高效持续工作。
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VDP系列变螺距螺杆真空泵
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概述
VDP系列变螺距螺杆真空泵采用先进的三段式变螺距转子型线,高效节能、运行可靠,极限真空可达1.33Pa,可在大气压到极限压力间的任何压力下高效持续工作。
VDP系列采用变螺距干式螺杆技术,压缩腔无需水或其他任何工作介质,避免泵送介质的冷凝和沉积,并且防止介质被油水污染,可获得洁净真空。广泛应用于制药、电子、化工、食品加工领域中的溶剂回收、真空干燥、真空蒸馏等工艺中。
技术特点
吸入效率提高15%
极限真空可达1.33Pa
三段式可变螺距,节能可达35%
高效夹套水冷降低排气温度50%
G1级转子动平衡,低噪音、低振动、无惯性力,可高速运稳定行
结构简单、易保养、低维护费用,寿命长
可选用机械密封、唇形密封,结构简单,密封可靠,确保零泄漏无故障
耐腐性能好,介质接触部位可喷涂哈氏合金涂层、特氟龙涂层、镍基碳化钨涂层
强腐蚀工况,泵体、螺杆等接触物料的部件材质可采用双相不锈钢、316L不锈钢等
运行范围广,可在大气压到极限压力间的任何压力下持续工作
可与罗茨泵、分子泵等串联使用,在高真空工况下获得高抽速。
工作原理
是一种变螺距双螺杆真空泵。一对螺杆转子在腔体内旋转。泵送的介质被螺杆捕获,经压缩后输送至排气口。在压缩过程中,螺杆转子间不相互接触,也不与腔体接触。压缩腔无需润滑油或工作液。冷却方式既可以采用直接水冷,也可以采用空气冷热交换器实现散热器冷却。由于可选技术方案和附件范围广泛,VDP系列螺杆真空泵可完美地适应各种工艺需求。所有产品系列包括七种规格,额定抽速从每小时 200立方米至 3000 立方米。
结构优势
变螺距螺杆真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无水无油污染等优点,得到越来越多使用单位的青睐。变螺距螺杆真空泵能够真正做到即保证清洁的被抽空间,又不污染周围环境,号称21世纪绿色真空泵。
既可用于半导体行业,又可用于石化行业。可广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产晶片、制造液晶显示器、蚀刻、CVD制程;在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂,在脂肪酸生产中用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩,食品包装等。应用范围极为广泛,产品市场前景看好。
以变螺距螺杆真空泵为基础的罗茨—螺杆真空机组,可以代替传统的罗茨—水环真空系统,在医药、化工、食品行业广泛应用,具有占用空间小、能耗低、寿命长、可靠性好、无水蒸气影响等优点,适合于各种气体的排除和输送。
优点及特征
●完美的真空处理能力:100-3000m3/Hr。
●不使用油和水,不会造成油和水的污染。
●低功耗、低噪音、低振动,动平衡好,没有惯性力,可高速运行。
●设计结构简单,易保养,维修费用低,没有易损件,寿命长。
●适用范围广,具有高真空性能。
●使用寿命长,气体接触部位都具耐蚀耐涂层。
●可选用机械密封或唇形密封,密封可靠不会因污染而频繁发生故障,轴承经久耐用。
●涂层标准:耐蚀耐热哈氏合金、特氟龙、镍基碳化钨
■标准配件:
基座和防护罩
排气消声器及进气分离器
过滤器
流量开关
止回阀
真空计
■可选配件:
回收罐
排气冷凝器
入口真空缓冲罐
温度开关
应用范围
●变螺距螺杆泵在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
●变螺距螺杆泵在石油化工中的应用,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
●制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
●化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
●工业排气;集中式真空处理系统
●挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
●混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。
●涉及无油无水真空处理的所有应用
●食品行业用于香料,香精浓缩等。
技术参数
型号 |
抽气量 |
极限压力 |
电机功率 |
转速 |
进气 |
排气 |
冷却水量 |
噪声 |
重量 |
M³/h |
Pa |
KW |
rpm |
mm |
mm |
L/min |
dB |
Kg |
|
VDP-200 |
165 |
1.33 |
5.5 |
2900 |
50 |
40 |
10 |
75 |
250 |
VDP-320 |
260 |
1.33 |
5.5 |
2900 |
50 |
40 |
10 |
75 |
320 |
VDP-430 |
360 |
1.33 |
7.5 |
2900 |
65 |
50 |
15 |
78 |
380 |
VDP-650 |
550 |
1.33 |
11 |
2930 |
80 |
65 |
15 |
78 |
480 |
VDP-900 |
750 |
1.33 |
15 |
2930 |
100 |
80 |
20 |
80 |
600 |
VDP-1500 |
1250 |
1.33 |
30 |
2950 |
125 |
100 |
30 |
82 |
980 |
VDP-3000 |
2500 |
1.33 |
55 |
2950 |
200 |
125 |
40 |
82 |
1350 |
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